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고순도 불화수소에 대한 일본 수출규제, 기체·고체 모두 포함 | |||
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첨부파일 | 2019-07-24 | 688 | |
[산업일보] 일본 정부는 고순도 불화수소(에칭가스)로 규제 품목을 언급했으나 실제 고순도 기체와 더불어 액체 불화수소도 규제 대상에 포함돼 있어 국내 고순도 액체 불화수소 정제 기술을 보유한 솔브레인과 고순도 기체 불화수소 원재료를 제조하는 후성이 수혜를 볼 것으로 보인다. 규제 대상도 원자력, 첨단소재, 전자기기, 센서 등 광범위하고 Catch All 제도에 따라 일본의 자의적으로 품목 지정이 가능해진다. 이를 정제해 액체 혹은 기체 형태 고순도 불화수소(High Purity Hydrogen Fluoride)를 제조하게 된다. 참고로 불화수소의 끓는점은 약 20도로 상온에서는 기체 상태이다. 실리콘 산화막 두께를 줄이거나 불순물을 제거하는 데 사용되는데, 이번 일본 규제 품목은 액체와 기체 형태의 고순도 불화수소이다. 상대적으로 공정 기술 난이도가 낮은 디스플레이부터 국산화가 이뤄질 것으로 예상된다. 전방 반도체 및 디스플레이 고객사와 함께 광범위한 국산화 테스트를 진행 중이다. 다만 기체 고순도 불화수소 원재료인 무수불산의 경우 국내 후성이 양산 중이다. 이에 최근 전방 반도체 고객사와 함께 무수불산을 반도체 일부 공정에 적용하기 위한 테스트 중인 것으로 알려졌다. |